特許

J-GLOBAL ID：200903087865054282

液中レーザ加工装置

発明者： 香川 和宏 ,  桟敷 一明 ,  庭月野 義行 ,  田畑 亜紀
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所
代理人 (1件)： 木村 高久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-160829
公開番号（公開出願番号）：特開2002-346785
出願日： 2001年05月29日
公開日（公表日）： 2002年12月04日
要約：

【要約】【課題】 液体中に配置された加工対象物に対する加工特性を向上させることができる液中レーザ加工装置を提供すること。【解決手段】 透明境界板41は、その出射面が水平線に対し所定の傾斜角θをもって液中で配置される。透明境界板41の入射面にはプリズム42が密着されている。プリズム42は、チャンバ70内の液体の屈折率の値と同一又は該値に近傍する屈折率の光学特性を有している。透明境界板41の出射面に到達した気泡は、その出射面に沿って移動する。しかも、透明境界板41の出射面側においては、浮揚してくる気泡は、当該透明境界板41の出射面に付着する以前に、流れ発生装置100によって発生された流れにより速やかに除去される。

請求項（抜粋）：

レーザ光を発生するレーザ発生手段と、液体を収容するチャンバとを有し、前記チャンバに収容される液体中の所定の位置に配置される加工対象物に対して、前記レーザ発生手段によって発生されたレーザ光を照射することにより、当該加工対象物をレーザ加工する液中レーザ加工装置において、前記液体における光路に対応する領域の液体部分と気体とが分離されるように形成されていると共に、前記光路に対応する部位が入射面と出射面とが平行に形成され光の透過性を有する光学部材で形成されている境界手段を備え、前記境界手段は、前記光学部材が前記加工対象物とは対向して配置されていると共に水平線に対し所定の角度をもって液体中に配置されていることを特徴とする液中レーザ加工装置。

IPC (4件)：

B23K 26/12 ,  B23K 26/06 ,  B23K 26/10 ,  B23K 26/14

FI (5件)：

B23K 26/12 ,  B23K 26/06 G ,  B23K 26/06 Z ,  B23K 26/10 ,  B23K 26/14 Z

Fターム (5件)：

4E068CD08 ,  4E068CD09 ,  4E068CE11 ,  4E068CH08 ,  4E068CJ07