特許

J-GLOBAL ID：200903087867991208

薄膜の機械的性質評価装置

発明者： 木村 正人 ,  鶴見 正明
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-119993
公開番号（公開出願番号）：特開平7-325028
出願日： 1994年06月01日
公開日（公表日）： 1995年12月12日
要約：

【要約】【目的】 試験片の表面の状態に影響され難く、また周囲の振動やノイズを拾うことが少なく、薄膜の剥離および付着力を精度よく測定する。【構成】 試験片1を挟んで発光部20と光検出部21を対向配置する。圧子4を試験片1の表面に押し込むと、薄膜1bが基板1aから剥離し、発光部20から出射した光の一部が剥離部を透過して光検出部21により検出される。このときの薄膜1bの付着力は、押し込み荷重と押し込み深さを荷重変換器3と変位計7によって測定することで、算出される。

請求項（抜粋）：

基板上に薄膜が形成されている試験片に押し込み変形を与える圧子と、前記薄膜の剥離を検出する剥離検出手段とを備え、前記薄膜の剥離時の圧子の押し込み荷重と押し込み深さを検出し、薄膜の付着力を測定する薄膜の機械的性質評価装置において、前記剥離検出手段は、前記試験片に対応して配設された発光部と、この発光部から出て薄膜の剥離部を透過もしくは剥離部で反射した光を検出する光検出部とで構成されていることを特徴とする薄膜の機械的性質評価装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭64-031036
  
• 特開昭63-221231
  
• 特開平3-087637