特許
J-GLOBAL ID：200903087893090901
試料の高さ計測手段を備えた電子ビーム装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-211814
公開番号（公開出願番号）：特開平7-134964
出願日： 1993年08月26日
公開日（公表日）： 1995年05月23日
要約：
【要約】【目的】 対物レンズの短焦点距離化による電子ビームの微小化とレーザ光線による試料の高さ検出を両立させることができる高性能な電子ビーム装置を実現する。【構成】 試料6の高さ検出用のレーザ光線11を対物レンズ2の上磁極28と下磁極29の間を通して試料6に照射するようにした。【効果】 対物レンズ2を試料6との距離が短くして対物レンズ2の短焦点距離化を実現でき、同時に試料の高さ計測用レーザ光線11の光路を確保することができる。
請求項（抜粋）：
試料を載置するステージと、該ステージを2次元的に駆動可能なステージ駆動手段と、電子ビーム発生手段と、電子ビーム走査手段と、第1の磁極、第2の磁極、第1の磁極と第2の磁極を磁気的に接続する磁路及び励磁コイルからなり電子ビームを前記ステージに載置された試料上に収束するための磁界形対物レンズと、電子ビームを走査している試料面に対して斜め方向から光ビームを照射する光源と、試料面で反射した光ビームを受光してその受光位置を検知する光検出手段とを含む試料の高さ計測手段を備えた電子ビーム装置において、前記光源から試料面で反射されて前記光検出手段に至る光ビームの光路が試料面への光ビーム入射点に立てた法線を軸として作る回転円錐面にて2分される空間のうち試料が含まれる方の空間に前記磁界形対物レンズの第1の磁極及び第2の磁極の少なくとも一方が設けられていることを特徴とする試料の高さ計測手段を備えた電子ビーム装置。
IPC (4件)：
H01J 37/21
, H01J 37/141
, H01J 37/20
, H01L 21/027
