特許

J-GLOBAL ID：200903087899784468

半導体機器、半導体製造システムおよびジョブ情報報知方法

発明者： 木村 達彦
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大菅 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-064246
公開番号（公開出願番号）：特開2001-257140
出願日： 2000年03月09日
公開日（公表日）： 2001年09月21日
要約：

【要約】【課題】 半導体素子を製造する半導体機器の各ジョブの動作状態を、任意の場所に居るオペレータに迅速に報知することができる半導体機器を提供することにある。【解決手段】 半導体製造システムを構成する要素であって、1つ以上のジョブの実行に基づいて半導体素子を製造する工程で使用される半導体機器(1)において、ジョブの動作状態を検出する検出手段(11)と、ジョブの動作状態と外部へ情報を報知するための報知手法とを対応付けて格納するテーブル(12)と、上記テーブル(12)を参照することにより、上記検出手段(11)が検出したジョブの動作状態に対応する報知手法を選択する選択手段(13)と、上記選択手段(13)により選択された報知手法に基づいて、上記ジョブの動作状態を含むジョブ情報を報知する報知手段(14)とを備える。

請求項（抜粋）：

半導体製造システムを構成する要素であって、1つ以上のジョブの実行に基づいて半導体素子を製造する工程で使用される半導体機器において、ジョブの動作状態を検出する検出手段と、ジョブの動作状態と外部へ情報を報知するための報知手法とを対応付けて格納するテーブルと、該テーブルを参照することにより、該検出手段が検出したジョブの動作状態に対応する報知手法を選択する選択手段と、該選択手段により選択された報知手法に基づいて、該ジョブの動作状態を含むジョブ情報を報知する報知手段とを備えることを特徴とする半導体機器。

IPC (2件)：

H01L 21/02 ,  G06F 13/00 630

FI (2件)：

H01L 21/02 Z ,  G06F 13/00 630 A