特許
J-GLOBAL ID：200903087902858710
ステージ装置とその駆動方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-298140
公開番号（公開出願番号）：特開平8-162385
出願日： 1994年12月01日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：
【要約】【目的】Yステージ上にVガイドとフラットガイドを介してXステージが載置され、VガイドがXステージの重心からずれた位置にあるステージ装置において、YステージをY方向に沿った第1の向きへ加速した時、XステージがVガイドの面に沿って飛び上がる加速度と、Yステージが第1の向きと逆の第2の向きに加速した時、XステージがVガイドに沿って飛び上がる時の加速度が違う。しかしながら、従来は、低い方の加速度で第1と第2の向きに加速していた。本発明は、Xステージ移動のスループットを上げるため、第1の向きと第2の向きでYステージの加速度を別々に設定した。【構成】第1の加速度を出力する第1出力部と第2の加速度を出力する第2出力部とYステージの移動方向に基づいて第1出力部と第2出力部を選択する選択部を備えた。
請求項（抜粋）：
Yステージと、その上にVガイドとフラットガイドを介して載置されたXステージと、前記YステージをY軸方向に移動させるY軸駆動部とからなり、前記Vガイドの位置が前記Y軸方向で見た時、Xステージの重心から外れた位置にあるステージ装置の駆動方法において、前記重心から前記Y軸方向を見てVガイドのある向きを第1の向き、無い向きを第2の向きとする時、前記Yステージを前記第1の向きに加速する時は、その加速度を、前記第2の向きに加速する時の加速度より大きくする事を特徴とするステージ装置の駆動方法。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G05D 3/12 306
, H01L 21/66
, H01L 21/68
