特許

J-GLOBAL ID：200903087909761674

エッチング廃液リサイクル法及びその装置

発明者： 柯 建 信
出願人/特許権者： 柯 建 信
代理人 (1件)： 伊東 忠彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-189244
公開番号（公開出願番号）：特開2000-017464
出願日： 1998年07月03日
公開日（公表日）： 2000年01月18日
要約：

【要約】【課題】 エッチングタンクで生じた塩化銅エッチング廃液を完全に回収して再生反応させた後、再びメッキ作業に供給使用し、原料コストを節減できると共に環境保全の公害問題を低減できるエッチング廃液リサイクル法及びその装置を提供する。【解決手段】 本発明のエッチング廃液リサイクル法は、エッチングタンク内で生じた塩化銅廃液を回収し、合成ステップ、熱分解ステップ、脱水ステップ、解離ステップへと経た後、更に電気メッキステップへ送り電気メッキを行ない、これによりエッチングタンクで生じた塩化銅廃液をリサイクルし、環境保全の公害問題を防止できると共に原料コストを節減できる。また、上記方法に採用される装置は、塩化銅廃液を回収する回収ユニット、反応原料を供給する原料供給ユニット,反応を行なう反応ユニット,反応生成物を脱水させる脱水ユニット脱水を経た反応生成物を解離して電解液を造る解離ユニット,及び得られた電解液を利用して電気メッキを行なう電気メッキユニットを具えて構成される。

請求項（抜粋）：

エッチングタンク内で生じる塩化銅エッチング廃液を回収する回収ステップと、水酸化ナトリウムを添加して上記回収した塩化銅エッチング廃液と反応させ水酸化銅を生じさせる合成ステップと、上記合成ステップで生成した水酸化銅生成物を80°C以上の温度のもとで熱分解して固体酸化銅を造る熱分解ステップと、上記熱分解ステップで得られた固体酸化銅を脱水して、乾燥した酸化銅固体を得る脱水ステップと、上記脱水ステップで得られた乾燥した酸化銅固体を、硫酸により溶解して銅イオン含有電解液を形成する解離ステップと、上記解離ステップで造られた銅イオン含有電解液をメッキタンク内に輸送して電気メッキを行なう電気メッキステップと、を含んでなるエッチング廃液リサイクル法。

IPC (2件)：

C23F 1/46 ZAB ,  C02F 1/62

FI (2件)：

C23F 1/46 ZAB ,  C02F 1/62 C

Fターム (22件)：

4D038AA08 ,  4D038AA10 ,  4D038AB39 ,  4D038AB68 ,  4D038BA04 ,  4D038BA06 ,  4D038BB01 ,  4D038BB02 ,  4D038BB10 ,  4D038BB15 ,  4D038BB16 ,  4D038BB17 ,  4D038BB18 ,  4D038BB20 ,  4K057WA18 ,  4K057WA20 ,  4K057WB04 ,  4K057WE08 ,  4K057WH01 ,  4K057WH08 ,  4K057WM19 ,  4K057WN01