特許
J-GLOBAL ID：200903087915545797
ガラス基板の折割り方法及びその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
楠本 高義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-194175
公開番号（公開出願番号）：特開平7-025633
出願日： 1993年07月09日
公開日（公表日）： 1995年01月27日
要約：
【要約】【目的】 イメージセンサのなどのように製造工程でガラス基板を短冊状に細く折り割る必要がある場合に、熟練者でなくても簡単に折り割ることができ、さらにガラス基板の折り割りを自動化することができるようにする。【構成】 大面積のガラス基板28に予め付けられた1以上のスクライブ線30に沿って該ガラス基板28を短冊状に折り割る方法及び装置20であって、前記ガラス基板28を該1のスクライブ線30の片側で支持手段(32)により支持固定する一方、該支持固定されたガラス基板28の主面に対して垂直に、かつ、該スクライブ線30が付けられた面と反対側から該スクライブ線30に沿って加圧刃24を加圧するとともに、前記スクライブ線30の他の片側を加圧刃24の加圧方向とは逆方向に押圧手段(32)により押圧し、該ガラス基板28を加圧刃24の刃先を中心に回転させつつ折り割るように構成した。
請求項（抜粋）：
大面積のガラス基板に予め付けられた1以上のスクライブ線に沿って該ガラス基板を短冊状に折り割る方法であって、前記ガラス基板を該1のスクライブ線の片側で支持固定する一方、該支持固定されたガラス基板の主面に対して垂直に、かつ、該スクライブ線が付けられた面と反対側から該スクライブ線に沿って加圧刃を加圧するとともに、前記スクライブ線の他の片側を加圧刃の加圧方向とは逆方向に押圧し、該ガラス基板を加圧刃の刃先を中心に回転させつつ折り割るように構成したことを特徴とするガラス基板の折割り方法。
IPC (2件)：
C03B 33/033
, H01L 21/301
