特許

J-GLOBAL ID：200903087916756708

基板処理装置

発明者： 枝本 信雄 ,  米澤 亨
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (2件)： 稲岡 耕作 ,  川崎 実夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-278800
公開番号（公開出願番号）：特開2008-098426
出願日： 2006年10月12日
公開日（公表日）： 2008年04月24日
要約：

【課題】基板に吐出される処理液の流量を正確に計測することができ、基板に適切な処理を施すことのできる基板処理装置を提供すること。【解決手段】吐出ノズルから容器内に向けて第1薬液が吐出される(ステップT2)。容器に所定量の第1薬液が溜められるとともに(ステップT3でYes)、その第1薬液を溜めるために要した時間が計測され(ステップT4)、これらに基づいて、吐出ノズルから容器内に吐出された第1薬液の実流量が演算される(ステップT6)。実流量と、第1薬液の吐出時に流量計から出力された計測値とに基づいて、第1薬液に対応する補正係数が演算される(ステップT7)。この補正係数で、流量計から出力される計測値が補正される。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

基板に処理液を用いた処理を施す基板処理装置であって、 基板に処理液を吐出するための吐出部と、 前記吐出部に供給される処理液の流量を計測し、その計測値を出力する流量計と、 処理液を溜めることができる容器と、 前記容器に対して前記吐出部から処理液を吐出させる吐出制御手段と、 前記吐出制御手段による処理液の吐出時に前記流量計が出力する計測値を参照する流量計出力値参照手段と、 前記容器に貯留された処理液の量、およびその貯留に要した時間に基づいて、前記吐出制御手段の制御によって前記吐出部から前記容器内に吐出された処理液の実流量を演算する実流量演算手段と、 前記実流量演算手段により演算された実流量、および前記流量計出力値参照手段によって参照された計測値に基づいて、前記流量計の計測値を補正するための補正量を演算する補正量演算手段と、 前記流量計が出力する計測値を、前記演算量演算手段が演算した補正量で補正する計測値補正手段と、 を含むことを特徴とする基板処理装置。

IPC (3件)：

H01L 21/304 ,  G03F 1/08 ,  H01L 21/306

FI (5件)：

H01L21/304 648G ,  G03F1/08 X ,  H01L21/304 643A ,  H01L21/304 648K ,  H01L21/306 R

Fターム (7件)：

2H095BB19 ,  5F043DD13 ,  5F043EE07 ,  5F043EE08 ,  5F043EE28 ,  5F043EE29 ,  5F043EE32

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 基板処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-314951   出願人：大日本スクリーン製造株式会社