特許
J-GLOBAL ID:200903087919662470
電磁誘導型検査装置
発明者:
出願人/特許権者:
,
代理人 (1件):
吉田 芳春
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-166674
公開番号(公開出願番号):特開平8-029394
出願日: 1994年07月19日
公開日(公表日): 1996年02月02日
要約:
【要約】【目的】被検査物のサイズに左右されず、被検査物を確実に磁界内に入れて、例え検出対象物と同種の電導体を介してでも、十分な精度で検出対象物を認識することができる電磁誘導型検査装置を提供することを目的とする。【構成】励磁コイルと誘導コイルとで第1センサ5、第2センサ6をそれぞれ構成し、第1、第2センサ5、6の内、一方のセンサで、交流磁界中にある被検査物による誘導起電圧の変化を検出し、他方のセンサをダミーとして同時に誘導起電圧を検出する、相互に逆相関係の構成にして、検査時に、第1、第2センサ5、6間の各交流磁界が相互に影響を及ぼすことはなく、各センサに検出される誘導起電圧が相互に干渉せず、誘導起電圧間の差分電圧も正確に得られ、検査は、被検査物1中の検出対象物が同種の電導体を介して配置された状態で実施される。
請求項(抜粋):
交流磁界内で、被検査物中に配置された、同種の複数の電導体のうちのひとつを検出対象物として、該検出対象物を、電磁誘導に従って、検査する電磁誘導型検査装置であって、交流磁界を形成する第1励磁コイルと、該第1励磁コイルにより形成された交流磁界の大きさに応じた誘導起電圧を生成する第1誘導コイルとを有する第1センサと、前記第1励磁コイルに接続され、かつ、前記第1励磁コイルと同様の大きさの交流磁界を形成する第2励磁コイルと、前記第1誘導コイルに接続され、かつ、前記第1誘導コイルとは逆相に設定されるとともに、前記第2励磁コイルにより形成された交流磁界の大きさに応じた誘導起電圧を生成する第2誘導コイルとを有する第2センサと、前記第1誘導コイルと前記第2誘導コイルとのいずれか一方に接続され、前記第1、第2誘導コイル間に生じた誘導起電圧の差分電圧を検出する検出手段と、前記検出手段により検出された差分電圧に基づいて前記検出対象物を認識する認識手段とを備えたことを特徴とする電磁誘導型検査装置。
IPC (2件):
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