特許

J-GLOBAL ID：200903087931263726

電圧測定方法及び装置

発明者： 永井 利明 ,  尾崎 一幸
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 石川 泰男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-049507
公開番号（公開出願番号）：特開平7-260891
出願日： 1994年03月18日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：

【要約】【目的】 電気光学素子を用いた電圧センサによる測定対象の電圧測定において、ドリフト成分や、特定の低周波ノイズの影響をうけることなく電圧を測定可能な電圧測定装置を提供する。【構成】 電圧センサ4は、測定対象104に近接又は接触させる測定電極21と、参照電圧が印加される参照電極20とを短絡させるスイッチ手段S0 を有し、このスイッチ手段S0 をONにして測定用光Mを照射したときの測定用光Mの偏光状態を検出し、検出した偏光状態を基準偏光状態として測定対象104の電圧を測定する。

請求項（抜粋）：

測定対象に近接又は接触させる測定電極及び参照電圧が印加される参照電極を有する電気光学素子を用いた電圧センサに測定用光を照射し、前記電気光学素子を通過した前記測定用光の偏光状態の変化を検出して前記測定対象の電圧測定を行う電圧測定方法において、前記測定電極(21)と前記参照電極(20)を短絡させて前記測定用光(M)を照射したときの前記測定用光(M)の偏光状態を検出し、前記検出した偏光状態を基準偏光状態として前記測定対象(104)の電圧を測定することを特徴とする電圧測定方法。

IPC (4件)：

G01R 31/302 ,  G01R 19/00 ,  G01R 31/319 ,  H01L 21/66

FI (2件)：

G01R 31/28 L ,  G01R 31/28 R