特許

J-GLOBAL ID：200903087938616659

インクジェットヘッド及びその製造方法

発明者： 三樹 剛
出願人/特許権者： 株式会社リコー
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-335005
公開番号（公開出願番号）：特開2000-141656
出願日： 1998年11月09日
公開日（公表日）： 2000年05月23日
要約：

【要約】【課題】 静電型インクジェットヘッドを非圧縮性の圧力媒体を用いて梓接的に駆動することにより、圧力を発生させる振動板の短辺長,長辺長比を理想化し、ノズルを高密度化し、低駆動電力化する。【解決手段】 電極113,119間に電圧を印加し、圧力発生振動板116,118を撓ませ、圧力媒体流路117に封入した非圧縮性の圧力媒体を加圧する。圧力液室112側の圧力液室振動板115は加圧液室側に撓み、インクはノズル106より吐出する。圧力発生振動板116,加圧液室振動板115は上部Si基板104と、また圧力発生振動板118,圧力媒体流路117は下部Si基板105とそれぞれ一体であって、シリコン異方性エッチングにより作成される。

請求項（抜粋）：

圧力発生振動板と対向電極間に静電力を発生させ、圧力発生振動板を変位させることにより生ずる圧力または圧力発生振動板の復元力により生ずる圧力のいずれか一方もしくは両方により、液を吐出する方式の静電型インクジェットヘッドにおいて、圧力発生振動板の変位および復元力により発生した圧力を非圧縮性流体により伝達し、間接的に加圧液室に設けた加圧液室振動板を駆動し、圧力を吐出液体に伝達するインクジェットヘッド。

IPC (3件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H

Fターム (10件)：

2C057AF37 ,  2C057AF54 ,  2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG54 ,  2C057AG58 ,  2C057AP02 ,  2C057AP34 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA04