特許
J-GLOBAL ID：200903087938965297
分子ポンプ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川井 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-093190
公開番号（公開出願番号）：特開2002-295395
出願日： 2001年03月28日
公開日（公表日）： 2002年10月09日
要約：
【要約】【課題】 シャフトを伝わって、ターボ分子ポンプの外に漏れ出す磁場の少ない分子ポンプを提供すること。【解決手段】 シャフトを非磁性体の部材で構成した非磁性体部31と鉄などの高透磁率材で構成した磁性体部32を接合して形成する。磁性体部32には、DCブラシレスモータ用のロータモータ部34と、磁気軸受用の電磁石ターゲット33、34が配設されている。ロータモータ部34は、磁性体部32に形成されているため、DCブラシレスモータのパワーが低下することはない。また、非磁性体部36は、ターボ分子ポンプの吸気口側に形成されており、磁性体部32内に形成された磁力線が吸気口を介して真空装置内に漏れ出すのを低減する。
請求項（抜粋）：
内部にステータが配設された外装体と、前記外装体の一端に形成された吸気口と、前記外装体の他端の側に形成された排気口と、前記外装体の内部に配設される、少なくとも前記吸気口が形成された側の端部が非磁性部材によって構成され、かつロータモータ部が形成された部分が磁性部材によって構成されたシャフトと、前記シャフトの前記排気口側の端部に固着されたロータと、前記シャフトを軸支する軸受と、前記ロータモータ部に作用して、前記シャフトを回転させるステータモータ部と、を具備したことを特徴とする分子ポンプ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
F04D 19/04 G
, F04D 29/04 D
3H022AA01
, 3H022BA06
, 3H022CA01
, 3H022CA51
, 3H022DA12
, 3H031DA01
, 3H031DA02
, 3H031DA07
, 3H031EA00
, 3H031FA04
, 3H031FA34
