特許

J-GLOBAL ID：200903087945651265

酸に不安定な溶解抑制剤、及びそれらに基づいたポジ型及びネガ型感光性組成物

発明者： ウルリツヒ シエーデリ
出願人/特許権者： チバ-ガイギー アクチエンゲゼルシヤフト
代理人 (1件)： 萼 経夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-263211
公開番号（公開出願番号）：特開平5-039282
出願日： 1991年09月13日
公開日（公表日）： 1993年02月19日
要約：

【要約】 (修正有)【構成】 1個またはそれ以上の次式I(式中、R1 はH、ハロゲン原子、アルキル、シクロアルキル、アリール、アルコキシ、またはアリールオキシ基、R2 はH、アルキル、シクロアルキル、アリール基、R3 は飽和または不飽和炭化水素官能基、R4 及びR5 はH、ハロゲン原子、アルキル、アルコキシ、アリールオキシ基、Xは直接単結合、メチレン:エチレン橋)で表されるテトラヒドロピラニルオキシ置換基を持つ少なくとも1個の芳香環系を有する非高分子性化合物(具体的には(A)、(B)等の化合物)。【効果】 該化合物は、ポジ型並びにネガ型ホトレジスト用の溶解抑制剤として特に適当である。

請求項（抜粋）：

1個またはそれ以上の次式I【化1】(式中、R1 は水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基、アルコキシ基、またはアリールオキシ基を表わし、R2 は水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、またはアリール基を表わし、R3 は飽和または不飽和炭化水素官能基を表わし、R4 及びR5 はそれぞれ互いに独立して水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基、またはアリールオキシ基を表わし、そしてXは直接単結合、またはメチレン橋またはエチレン橋を表わす)で表されるテトラヒドロピラニルオキシ置換基を持つ少なくとも1個の芳香環系を有する非高分子性化合物。

IPC (7件)：

C07D309/10 ,  G03C 1/73 502 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/004 515 ,  G03F 7/038 ,  G03F 7/039 ,  H01L 21/027