特許
J-GLOBAL ID：200903087947265524
配線パターン検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小林 良平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-129666
公開番号（公開出願番号）：特開平7-311018
出願日： 1994年05月18日
公開日（公表日）： 1995年11月28日
要約：
【要約】【目的】 配線パターンのラインのコーナ部においてもライン幅の検査ができるようにする。【構成】 判定前処理部14は、配線パターンの画像とスルーホールの画像との合成画像の信号ISを入力し、合成画像において各画素を中心画素PXcとして8方向に延びる各画素列Lup,Ldn,...,Ldl上で中心画素PXcを起点として配線パターンの画素が連続する数である測長値を示す測長値信号up,dn,...,dlを出力する。方向情報抽出部16は、この測長値信号を用いて、前記各画素列における測長値が所定の基準値以上か否かを調べ、測長値が基準値以上となる画素列の方向に応じて方向情報信号d0〜d19を出力する。欠陥判定部18は、この方向情報信号、前記測長値信号、及び所定の許容幅データに基づき、前記中心画素がコーナ部にあるか否かを考慮しつつ配線パターンのライン幅を検査し、その検査結果を幅過剰信号MX及び幅不足信号MNとして出力する。
請求項（抜粋）：
配線パターンが形成された検査対象物のパターンを画素毎に読み取って得られる画像データに基づき、前記検査対象物に形成された配線パターンのライン幅を検査する機能を有する配線パターン検査装置であって、前記画像データによって表わされる検査対象物のパターンにおいて、各画素を中心画素として少なくとも上、下、左、右、左上、左下、右上、右下の8方向に延びる各画素列上で中心画素を起点として配線パターンの画素が連続する数として定義される測長値を求める測長手段と、前記中心画素から延びる各画素列のうち、2以上の特定数から成る画素列組における測長値のみが予め設定されたライン方向判定値以上である際に配線パターンのコーナ部を検出するコーナ部検出手段と、前記コーナ部検出手段によって配線パターンのコーナ部が検出されたときに、前記画素列の測長値に基づいてコーナ部の欠陥を検出するライン幅欠陥検出手段と、を備えることを特徴とする配線パターン検査装置。
IPC (2件)：
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