特許

J-GLOBAL ID：200903087953604438

電気特性測定方法および装置

発明者： 高橋 毅 ,  三浦 太郎 ,  飯島 康
出願人/特許権者： ティーディーケイ株式会社
代理人 (1件)： 阿部 美次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-282398
公開番号（公開出願番号）：特開平11-118732
出願日： 1997年10月15日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：

【要約】【課題】 乾燥ガスによる測定誤差を生じない試料の電気特性測定方法および測定装置を提供する。【解決手段】 導波装置1を用いて試料の特性を測定するに当たり、導波装置1内に乾燥ガスを導入する。電気特性測定ステップでは、導波装置1内への乾燥ガスの導入を停止する。

請求項（抜粋）：

導波装置を用いて試料の特性を測定する方法であって、前記導波装置内に乾燥ガスを導入するステップと、電気特性測定ステップとを含み、前記電気特性測定ステップにおいて、前記導波装置内への前記乾燥ガスの導入を停止する電気特性測定方法。

IPC (2件)：

G01N 22/00 ,  H01P 7/06

FI (5件)：

G01N 22/00 J ,  G01N 22/00 T ,  G01N 22/00 V ,  G01N 22/00 Y ,  H01P 7/06