特許
J-GLOBAL ID：200903087953995020
ウエハ貼り付け装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-269578
公開番号（公開出願番号）：特開平8-139165
出願日： 1994年11月02日
公開日（公表日）： 1996年05月31日
要約：
【要約】【目的】 本発明の目的は、ウエハをウエハ貼り付け板に固定する際に、均一なワックス厚、強いては均一なウエハ板厚が得られるウエハ貼り付け装置を提供することにある。【構成】 本発明は、ウエハ1をウエハ貼り付け板2にワックス3にて固定する工程に用いるウエハ貼り付け装置において、ワックス3をウエハ1全面に伸展させるために、ウエハ1を押さえるスタンパー5のウエハ接触面側に弾性体パッド7が取り付けられていることを特徴としている。また本発明の別の構成では、ウエハ貼り付け装置のスタンパーおよびスタンパーに荷重を加える荷重軸の中心に貫通穴が設けられ、かつ前記スタンパーのウエハ接触面側全体が気密性膜で覆われており、前記荷重軸の貫通穴を通じて空気ポンプにより前記気密性膜を膨らませることでウエハを均等加圧できることに特徴がある。
請求項（抜粋）：
ウエハをワックスによりウエハ貼り付け板に固定するときに用いるウエハ貼り付け装置において、ワックスをウエハ全面に伸展させるためにウエハを押さえるスタンパーのウエハ接触面側に弾性体パッドが取り付けられていることを特徴とするウエハ貼り付け装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B23Q 3/08
, H01L 21/304 321
, B24B 37/04
