特許

J-GLOBAL ID：200903087954824466

乾燥装置

発明者： 出 口 俊 二
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-320930
公開番号（公開出願番号）：特開2003-121322
出願日： 2001年10月18日
公開日（公表日）： 2003年04月23日
要約：

【要約】【課題】 複数の試料カートリッジなどを真空乾燥する乾燥装置を提供する。【解決手段】 排気ポンプ17が繋がれた第1真空容器11と第2真空容器15とが接続管16を介して繋がれている。第2真空容器は、それぞれに試料がセットされた複数の試料カードリッジ21A,21B,21C,21D,21Eが収納可能に成っている。第1真空容器11は、試料カートリッジが着脱可能な試料ホルダー24の少なくとも試料カートリッジ着脱部25が収納可能に成っている。

請求項（抜粋）：

排気手段が接続されており、それぞれに試料がセットされた複数の試料カートリッジと、試料カートリッジが着脱可能な試料ホルダーの少なくとも試料カートリッジ着脱部とが収納可能な容器を備えた乾燥装置。

IPC (3件)：

G01N 1/28 ,  H01J 37/18 ,  H01J 37/20

FI (4件)：

H01J 37/18 ,  H01J 37/20 F ,  G01N 1/28 L ,  G01N 1/28 F

Fターム (11件)：

2G052AD32 ,  2G052DA21 ,  2G052DA33 ,  2G052FD18 ,  2G052GA33 ,  5C001AA01 ,  5C001BB01 ,  5C001BB07 ,  5C001CC03 ,  5C033KK01 ,  5C033KK09