特許
J-GLOBAL ID:200903087957369255

パルス電源装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 曾我 道照 (外6名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-304613
公開番号(公開出願番号):特開平11-146662
出願日: 1997年11月06日
公開日(公表日): 1999年05月28日
要約:
【要約】【課題】 銅蒸気レーザ、エキシマレーザ、炭酸ガスレーザ等のパルスレーザ装置の励起エネルギーを供給するパルス電源において、回路電圧値を低減させて高価な高耐圧部品減らすことで、装置の信頼性を高めると共に金属筐体内への回路の実装スペースを低減して装置を小型化する。【解決手段】 リアクトル9A,9Bに蓄える電磁エネルギーをコンデンサ2A,2Bの静電エネルギーに昇圧して変換するパルス電源を正負対称形に構成すると共に、コンデンサ2A,2Bの静電エネルギーを順次他のコンデンサ4A,4B,6A,6Bに移す回路も正負対称形とし、且つ、正極側と負極側の動作電圧および正極側と負極側の動作タイミングを独立して設定できる制御回路12を備えている。
請求項(抜粋):
正電極、負電極および接地電位とする中間電位点が設けられた直流電源と、前記直流電源の正電極に直列接続した電磁エネルギー蓄積用の第1の電磁エネルギー蓄積手段及び前記第1の電磁エネルギー蓄積手段に蓄積された電磁エネルギーを静電エネルギーに変換して蓄える第1の静電エネルギー蓄積手段と、前記直流電源の負電極に直列接続した電磁エネルギー蓄積用の第2の電磁エネルギー蓄積手段及び前記第2の電磁エネルギー蓄積手段に蓄積された電磁エネルギーを静電エネルギーに変換して蓄える第2の静電エネルギー蓄積手段と、前記第1および第2の静電エネルギー蓄積手段の後に中間電位点とそれぞれ対称に接続し、前記第1及び第2の静電エネルギー蓄積手段に蓄えられた静電エネルギーを移行させて蓄える第3および第4の静電エネルギー蓄積手段と、正電極ラインと負電極ラインの各終端間に接続され、前記第3および第4の静電エネルギー蓄積手段の静電エネルギーが供給される負荷とを備えたことを特徴とするパルス電源装置。
IPC (2件):
H02M 9/04 ,  H01S 3/10
FI (2件):
H02M 9/04 Z ,  H01S 3/10 A

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