硬質炭素被膜

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：井上学 , 戸田裕二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-219194
公開番号（公開出願番号）：特開2009-052081
出願日： 2007年08月27日
公開日（公表日）： 2009年03月12日
要約：

【課題】大気中かつ無潤滑環境下でも耐摩耗性・低摩擦性能に優れた硬質炭素被膜を提供する。【解決手段】Fe、Co、Ni等の高融点金属を含む基材12上に、各層間の密着性を高めるためCr中間層41、および組成傾斜層42を形成し、その上に2.7at%以上7.7at%以下のMo元素、及び1.3at%以上4.6at%以下のS元素、及び7.0at%以上9.5at%以下のO元素を含む硬質炭素被膜43を0.2μm以上0.3μm以下の厚さに形成する。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

2.7at%以上7.7at%以下のMo元素、及び1.3at%以上4.6at%以下のS元素、及び7.0at%以上9.5at%以下のO元素を含むことを特徴とする硬質炭素被膜。

IPC (3件)：

C23C 14/06 , C23C 16/27 , C01B 31/02

FI (3件)：

C23C14/06 F , C23C16/27 , C01B31/02 101Z

Fターム (47件)：

4G146AA05 , 4G146AA15 , 4G146AA16 , 4G146AB07 , 4G146AC01A , 4G146AC01B , 4G146AC16B , 4G146AC23A , 4G146AC23B , 4G146AD26 , 4G146BA01 , 4G146BA02 , 4G146BA12 , 4G146BA48 , 4G146BB22 , 4G146BC09 , 4G146BC10 , 4G146BC16 , 4G146BC17 , 4G146BC18 , 4G146BC23 , 4G146BC41 , 4G146BC43 , 4K029AA02 , 4K029AA24 , 4K029BA07 , 4K029BA21 , 4K029BA34 , 4K029BB02 , 4K029BC02 , 4K029BD04 , 4K029CA04 , 4K029CA06 , 4K029DC02 , 4K029DC04 , 4K029DC16 , 4K029DC39 , 4K029EA01 , 4K030AA09 , 4K030BA06 , 4K030BA28 , 4K030BB12 , 4K030CA02 , 4K030CA12 , 4K030FA01 , 4K030JA01 , 4K030LA23

引用特許：

出願人引用 (1件)

硬質炭素皮膜摺動部材及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-276825 出願人：三宅正二郎, 日産自動車株式会社

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