特許

J-GLOBAL ID：200903087967725238

窒化アルミニウム基板およびその製造方法

発明者： 松浦 貴宏 ,  中畑 成二 ,  曽我部 浩一 ,  山川 晃
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 深見 久郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-157512
公開番号（公開出願番号）：特開平7-033531
出願日： 1993年06月28日
公開日（公表日）： 1995年02月03日
要約：

【要約】【目的】 窒化アルミニウム基板の表面近傍の粒界を強化することによって、高熱伝導率を維持しながら、強度および耐食性の向上を達成した窒化アルミニウム基板およびその製造方法を提供する。【構成】 窒化アルミニウム基板の表面から10〜100μmの深さの領域にかけて、アルミニウム酸窒化物からなる表面層12と、この表面層12の下面から約200μmの深さの領域にかけて、窒化アルミニウムの結晶粒14の粒界にアルミニウム酸窒化物16を含む強化層18とを有している。

請求項（抜粋）：

窒化アルミニウムの焼結体からなる窒化アルミニウム基板において、前記窒化アルミニウム基板の表面から10〜100μmの深さの領域にかけて、アルミニウムの酸化窒化物からなる反応層と、前記反応層の下面から200μmの深さの領域にかけて窒化アルミニウムの結晶粒の粒界にアルミニウムの酸窒化物を含む強化層と、を有する窒化アルミニウム基板。

IPC (7件)：

C04B 35/581 ,  B32B 18/00 ,  C04B 35/64 ,  C04B 41/87 ,  H01L 23/15 ,  H05K 1/03 ,  H05K 3/38

FI (2件)：

C04B 35/58 104 Z ,  C04B 35/64 M

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開昭63-303879