特許

J-GLOBAL ID：200903087973122391

屈曲振動アームおよび振動型ジャイロスコープ

発明者： 菊池 尊行 ,  郷治 庄作 ,  大杉 幸久 ,  相馬 隆雄
出願人/特許権者： 日本碍子株式会社
代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-181788
公開番号（公開出願番号）：特開平11-125528
出願日： 1998年06月29日
公開日（公表日）： 1999年05月11日
要約：

【要約】【課題】圧電体からなる屈曲振動アームにおけるノイズ発生を無くし、高精度の角速度検出が可能な振動型ジャイロスコープを提供する。【解決手段】圧電体からなる屈曲振動アーム、およびこの屈曲振動アームを備える振動型ジャイロスコープにおいて、屈曲振動アーム本体2a、2b、6に中空部11a、11b、12を設け、かつこの屈曲振動アームに電極7-1、7-2、7-3、7-4を設ける。そのため、電極間に漏れ電界が発生しても、中空部により漏れ電界の影響をなくし、屈曲振動アームの不要な変位をなくすことができる。

請求項（抜粋）：

所定平面内で屈曲振動する屈曲振動アームであって、圧電材料製の細長いアーム本体と、このアーム本体に設けられている電極とを備えており、前記アーム本体中に中空部が形成されていることを特徴とする、屈曲振動アーム。

IPC (3件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/09

FI (3件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/08 C

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭52-052597
  
• 特開昭52-052597