特許

J-GLOBAL ID：200903087975234022

複数段レンズの位置調整方法、レンズ組立装置、及び、レンズ検査装置

発明者： 宮川 あゆ ,  矢吹 彰彦 ,  穂刈 守 ,  明間 滋
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (4件)： 眞鍋 潔 ,  柏谷 昭司 ,  渡邊 弘一 ,  伊藤 壽郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-345938
公開番号（公開出願番号）：特開2004-177334
出願日： 2002年11月28日
公開日（公表日）： 2004年06月24日
要約：

【課題】複数段レンズの位置調整方法、レンズ組立装置、及び、レンズ検査装置に関し、複数段レンズを構成する個々のレンズの公差により外形からレンズ位置を調整できない場合にも収差を低減する。【解決手段】複数段レンズ1を構成する各レンズ2,3間の相対位置を変化させる手段と、複数段レンズ1に平行光を照射する手段と、複数段レンズ1により集光された光を回折して反射させる回折・反射手段4と、反射した0次回折光6と±1次回折光7,8の干渉縞を観察する手段とを有し、レンズ2,3間相対位置の変化前と変化後の干渉縞を比較し、レンズ2,3間距離を調整する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

複数段レンズの位置調整方法において、前記複数段レンズを構成する各レンズ間の相対位置を変化させる手段と、前記複数段レンズに平行光を照射する手段と、前記複数段レンズにより集光された光を回折して反射させる回折・反射手段と、前記反射した0次回折光と±1次回折光の干渉縞を観察する手段とを有し、前記レンズ間相対位置の変化前と変化後の干渉縞を比較し、レンズ間距離を調整することを特徴とする複数段レンズの位置調整方法。

IPC (6件)：

G01B11/00 ,  G01B9/02 ,  G01M11/02 ,  G02B7/02 ,  G11B7/08 ,  G11B7/22

FI (6件)：

G01B11/00 G ,  G01B9/02 ,  G01M11/02 B ,  G02B7/02 C ,  G11B7/08 A ,  G11B7/22

Fターム (44件)：

2F064AA01 ,  2F064BB04 ,  2F064FF02 ,  2F064GG22 ,  2F064GG49 ,  2F064HH03 ,  2F064JJ01 ,  2F065AA01 ,  2F065AA20 ,  2F065BB03 ,  2F065BB22 ,  2F065CC22 ,  2F065FF04 ,  2F065FF51 ,  2F065GG06 ,  2F065HH03 ,  2F065JJ18 ,  2F065JJ23 ,  2F065LL00 ,  2F065LL04 ,  2F065LL42 ,  2F065QQ18 ,  2G086HH06 ,  2H044AC01 ,  5D117AA02 ,  5D117CC07 ,  5D117HH09 ,  5D117KK02 ,  5D117KK16 ,  5D117KK17 ,  5D119AA38 ,  5D119BA01 ,  5D119JA44 ,  5D119JC07 ,  5D119NA02 ,  5D119NA05 ,  5D119PA04 ,  5D789AA38 ,  5D789BA01 ,  5D789JA44 ,  5D789JC07 ,  5D789NA02 ,  5D789NA05 ,  5D789PA04