特許
J-GLOBAL ID:200903087988208373

単結晶試料等のX線応力測定方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 横川 邦明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-219398
公開番号(公開出願番号):特開平10-048158
出願日: 1996年08月01日
公開日(公表日): 1998年02月20日
要約:
【要約】【課題】 X線を用いた応力測定に関して、ラウエ法の原理を利用することによりX線を用いて単結晶試料の内部応力を測定できるようにする。【解決手段】 単結晶試料6にX線を照射してその試料6から回析X線を発生させ、その回折X線でX線フィルム2を露光してそのX線フィルム2の上に複数のラウエ斑点を形成し、それらのラウエ斑点のうちから任意の2点を選択して格子面間角度(φ)を実測によって求め、その格子面間角度(φ)から格子面間隔(d)を算出し、その格子面間隔(d)の変化に基づいて試料6の内部応力を求める。
請求項(抜粋):
試料の内部応力を測定するX線応力測定方法において、(1)試料にX線を照射してその試料から回折X線を発生させ、(2)その回折X線でX線感光部材を露光してそのX線感光部材上に複数の斑点状可視像を形成し、(3)それらの斑点状可視像のうちから任意の2点を選択して格子面間角度(φ)を求め、(4)その格子面間角度から格子面間隔(d)を算出し、そして(5)その格子面間隔(d)の変化に基づいて試料の内部応力を求めることを特徴とする単結晶試料等の応力測定方法。
IPC (2件):
G01N 23/205 ,  G21K 1/06
FI (2件):
G01N 23/205 ,  G21K 1/06 F

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