特許

J-GLOBAL ID：200903087991121734

RF電源

発明者： 加藤 努
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-307904
公開番号（公開出願番号）：特開平7-161494
出願日： 1993年12月08日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：

【要約】【目的】 複数の入力電力がアンバランスの状態での装置の運転をかならず停止させることができるRF電源を実現する。【構成】 合成器15内の合成アンバランス検出部によって検出されたアンバランス信号(Vu)は、第1の演算器21に供給される。第1の演算器21は2乗器であり、(Vu)2の信号が得られる。第1の演算器21の出力とカプラー16からの高周波出力(P)信号は、第2の演算器22に供給される。第2の演算器22は割算器であり、この結果、(Vu)2/Pが得られる。第2の演算器22の出力は演算増幅器23に送られ、基準信号源24からのMの信号と比較される。この第2の演算器22の出力がMより大きくなった場合には、リレー25が動作し、その結果スイッチ20がオフ状態とされ、高周波出力の発生が停止する。

請求項（抜粋）：

RF発振器と、RF発振器からの高周波を複数の出力に分配する分配器と、各出力を増幅する複数の増幅器と、増幅された各出力を合成する合成器と、合成アンバランス(Vu)を検出するアンバランス検出手段と、合成出力(P)を検出する出力検出手段と、(Vu)2/Pを演算する演算手段と、演算手段と所定値とを比較する比較手段と、比較手段からの出力に応じて出力をオフする手段とを備えたRF電源。

IPC (4件)：

H05H 1/46 ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/3065