特許
J-GLOBAL ID：200903087995390730
トーションバーを用いた静電駆動型マイクロミラーデバイス
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小沢 信助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-140525
公開番号（公開出願番号）：特開2005-321663
出願日： 2004年05月11日
公開日（公表日）： 2005年11月17日
要約：
【課題】 MEMSによって製作されるマイクロミラーデバイスは、低電圧駆動で、大きな回転角を得ることを求められるので、ミラーを支えるトーションバーを柔らかくするようにしているが、ミラー回転以外の変位も発生し易くなる。この変位は、デバイスの動作範囲を制限するため、大きなミラー回転角を得ることが困難であった。【解決手段】 本発明はトーションバーに張力を加えることによって、回転方向に比較して上下左右方向の剛性を高めることで、問題を解決したものである。引っ張り応力を加える方法は、引張応力の入ったシリコン窒化膜の薄膜でトーションバーを形成する方法、トーションバーに応力が加わっていない状態で微細加工を施し、イオンやラジカルを照射することでトーションバーに応力を発生させ、合力としてトーションバーに沿った張力を発生させる方法、等の各種の手法を適用することが出きる【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
マイクロミラーと一体に形成され該マイクロミラーを回転可能に支持するトーションバーを用いた静電駆動型マイクロミラーデバイスにおいて、
前記トーションバーに張力を持たせてミラーを支持させることにより、回転方向に柔らかく上下左右方向には剛性を高くして、安定にミラーの回転動作が得られるようにしたことを特徴とするトーションバーを用いた静電駆動型マイクロミラーデバイス。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (4件)：
2H041AA13
, 2H041AB14
, 2H041AC06
, 2H041AZ08
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (6件)
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引用文献：
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