特許

J-GLOBAL ID：200903088001542397

方形の基板の表面に液状物を盛る方法及び方形基板用流出ノズル

発明者： 柳澤 真太郎
出願人/特許権者： 株式会社中央理研
代理人 (1件)： 保立 浩一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-151399
公開番号（公開出願番号）：特開平6-338449
出願日： 1993年05月28日
公開日（公表日）： 1994年12月06日
要約：

【要約】【目的】 方形の基板の表面に必要最小限の量の液状物を厚さの均一性を良くして且つ飛散の無い状態で盛ることを可能にする。【構成】 流出ノズルを構成する直方体状の箱体1の前面板13に形成された細長いスリット状の開口部4から膜流の状態で液状物Lを流出させて、基板9の表面に盛る。流出ノズルは、斜め上方にふくらんで湾曲した滑動面21を有するガイド部材2と、滑動面21に沿って第一の方向の両端に設けられた両端規制部5と、箱体1の内部に設けられた層流化部材7とを有して、開口部4から所定の膜流を流出させる。開口部4の高さは、基板9に盛るべき液状物Lの総量や液状物Lの粘性などを考慮した上で、膜流の達成するための所定の値に設定される。

請求項（抜粋）：

方形の基板の表面に液状物を盛る方法であって、液状物を液状物流出部から流出させて、水平な第一の方向に広がる膜流を形成し、第一の方向に直角で水平な第二の方向に基板又は前記液状物流出部を移動させながら、前記膜流を基板の表面に到達させて盛ることを特徴とする方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  B05C 5/00 103 ,  G03F 7/30 501

FI (2件)：

H01L 21/30 361 E ,  H01L 21/30 361 K

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭57-192955
  
• 特開昭60-089925
  
• 特開平3-050550
  
• 特開平4-124812