特許

J-GLOBAL ID：200903088011195512

搬送容器

発明者： 内田 史彦 ,  松井 都 ,  辻川 浩 ,  瓜生 修一
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日本製鋼所
代理人 (1件)： 薄田 利幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-176960
公開番号（公開出願番号）：特開平9-027542
出願日： 1995年07月13日
公開日（公表日）： 1997年01月28日
要約：

【要約】【目的】半導体ウェハ、液晶装置用ガラス板等の電子装置用基板を高真空状態で保持する搬送容器を小型軽量化することによって、搬送を容易にすると共にプロセス装置への結合を簡便にし、取り扱い容易な搬送容器を実現することにある。【構成】搬送容器の真空を保持する手段として、真空チャンバ1内に気体をゲッタ材に固定することにより高真空を維持し得るゲッタポンプ5を組み込んだ構造とした。ゲッタポンプ5としては、例えば水素吸蔵合金が使用でき、予めターボポンプとロータリーポンプとの組み合わせ等により真空度を10-8Pa程度に排気してから容器のバルブ3を閉じれば長時間にわたりウェハ2を高真空の状態で保持することができる。

請求項（抜粋）：

少なくとも試料基板とゲッタポンプとを内蔵した真空チャンバと、その一端に配設された試料基板の出し入れと気密封止とを可能とするバルブとを具備して成る搬送容器。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B65D 85/38 ,  C23C 16/44

FI (3件)：

H01L 21/68 T ,  C23C 16/44 F ,  B65D 85/38 Z