表面検査方法及び表面検査装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：北村修一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-376402
公開番号（公開出願番号）：特開2006-184080
出願日： 2004年12月27日
公開日（公表日）： 2006年07月13日
要約：

【課題】被検査面に特定パターンの検査光を照射する照明部と、照射された被検査面を撮像する撮像部とからなる撮像ユニット、被検査面を撮像ユニットに対して相対移動させる搬送機構、及び、得られた撮像画像に基づいて被検査面の欠陥を検知する欠陥検知手段を備えている表面検査装置を、比較的大きな寸法の欠陥でも欠陥として捕え易いように改良する。【解決手段】欠陥検知手段が、撮像画像における孤立した高輝度領域を欠陥候補と判定する孤立点抽出部を備え、検査光の所定パターンが、所定寸法の暗部Dと、暗部Dを外周から包囲する明部Lとからなる単位発光面Uを相対移動の方向と交差する方向に多数隣接配置した発光面列FRと、発光面列と平行に連続的に延びた列状暗部DRとを有する構成とした。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

被検査面に特定パターンの検査光を照射する照明部と、前記照明部によって照射された被検査面を撮像可能な撮像部とで撮像ユニットを構成し、被検査面を前記撮像ユニットに対して相対移動させながら、得られた前記撮像画像に含まれる孤立した高輝度領域を欠陥候補と判定する表面検査方法であって、検査光の前記特定パターンを、所定寸法の暗部と前記暗部を外周から包囲する明部とからなる単位発光面を前記相対移動の方向と交差する方向に複数隣接配置した発光面列と、前記発光面列と隣接した位置で前記発光面列と平行に連続的に延びた列状暗部とで構成し、前記撮像部によって撮像される前記発光面列の画像に基づいて第1の欠陥を検出し、前記撮像部によって撮像される前記列状暗部の画像に基づいて前記第1の欠陥とは異なる第2の欠陥を検出するように構成した表面検査方法。

IPC (2件)：

G01N 21/88 , G01B 11/30

FI (2件)：

G01N21/88 Z , G01B11/30 A

Fターム (37件)：

2F065AA03 , 2F065AA23 , 2F065AA49 , 2F065AA58 , 2F065BB05 , 2F065CC11 , 2F065FF04 , 2F065FF42 , 2F065GG02 , 2F065GG07 , 2F065GG14 , 2F065GG15 , 2F065JJ03 , 2F065JJ09 , 2F065JJ26 , 2F065PP15 , 2F065QQ03 , 2F065QQ24 , 2F065QQ32 , 2F065QQ33 , 2F065QQ34 , 2F065QQ42 , 2F065QQ43 , 2G051AA88 , 2G051AB07 , 2G051AB12 , 2G051BA02 , 2G051BB07 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051DA01 , 2G051DA05 , 2G051EA11 , 2G051EB01 , 2G051EC01 , 2G051ED01 , 2G051ED22

引用特許：

出願人引用 (1件)

被検査面の欠陥検査方法およびその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-025090 出願人：日産自動車株式会社

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