特許

J-GLOBAL ID：200903088019223558

マイクロレンズアレイの製法と成形板

発明者： 中嶋 敏博
出願人/特許権者： ヤマハ株式会社
代理人 (1件)： 伊沢 敏昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-032197
公開番号（公開出願番号）：特開2004-237701
出願日： 2003年02月10日
公開日（公表日）： 2004年08月26日
要約：

【課題】レンズアレイ成形型及びセラミックス泥漿を用いて寸法精度良好なマイクロレンズアレイを短期間に低コストで製作する。【解決手段】成形板ホルダ10の凹部10A内に成形板12、18を対向配置すると共に成形板12、18間にスペーサ26を閉ループ状に介在配置してレンズアレイ成形空間10aを画定する。成形板12は、ガイドピンG1,G2を挿通するための孔N11,N12を有する。成形板18は、レンズ成形部L1〜L4を有すると共に、ガイドピンG1、G2を挿通するための孔N21,N22を有する。成形板12,18は、選択メッキ処理等を含む薄膜プロセスにより寸法精度良く形成される。成形空間10aにシリカ泥漿(セラミックス泥漿)を充填した後、シリカ泥漿を自己硬化させてセラミックスグリーン板とする。成形空間10aから取出したセラミックスグリーン板を焼成して石英製マイクロレンズアレイを得る。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

レンズ成形部を一方の主面に有する第1の成形板と、この第1の成形板に対向配置されるべき第2の成形板とをいずれも薄膜プロセスにより作成する工程と、 前記第1の成形板の一方の主面と前記第2の成形板の一方の主面とが向き合うようにして前記第1及び第2の成形板を対向配置すると共に前記第1及び第2の成形板の間に閉ループ状にスペーサを介在配置することにより前記第1及び第2の成形板の間にレンズアレイ成形空間を画定する工程と、 硬化及び焼成後に透光性を有する自己硬化性のセラミックス泥漿を前記レンズアレイ成形空間に充填した後該セラミックス泥漿を自己硬化させることにより前記レンズ成形部に対応するレンズ形状を有するセラミックスグリーン板を作成する工程と、 前記セラミックスグリーン板を前記レンズアレイ成形空間から取出した後前記セラミックスグリーン板を焼成することにより前記セラミックスグリーン板の焼成体からなるマイクロレンズアレイを得る工程と を含むマイクロレンズアレイの製法。

IPC (5件)：

B28B1/14 ,  B28B7/16 ,  C03B20/00 ,  C04B35/14 ,  G02B3/00

FI (5件)：

B28B1/14 J ,  B28B7/16 B ,  C03B20/00 C ,  C04B35/14 ,  G02B3/00 A

Fターム (23件)：

4G014AH08 ,  4G030AA37 ,  4G030BA15 ,  4G030CA07 ,  4G030GA12 ,  4G030GA19 ,  4G053AA01 ,  4G053BB03 ,  4G053BB07 ,  4G053BB11 ,  4G053BB17 ,  4G053BC02 ,  4G053BC04 ,  4G053BD02 ,  4G053BD16 ,  4G053BF05 ,  4G053CA16 ,  4G053DA01 ,  4G053DA03 ,  4G053EA02 ,  4G053EA26 ,  4G053EA43 ,  4G053EA47