特許

J-GLOBAL ID：200903088025856716

放電プラズマ処理装置

発明者： 水落 洋行
出願人/特許権者： 積水化学工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-046635
公開番号（公開出願番号）：特開2003-249399
出願日： 2002年02月22日
公開日（公表日）： 2003年09月05日
要約：

【要約】【課題】 被処理体を電極間に固定し、被処理体を均一に処理することができ、かつアーク放電の発生を抑えることのできる板状電極を用いた放電プラズマ処理装置の提供。【解決手段】 大気圧近傍の圧力下、一対の対向する板状電極間に電界を印加して、グロー放電プラズマを発生させ、電極間に設置した被処理体を処理する放電プラズマ処理装置において、少なくとも一方の板状電極が固体誘電体製パイプを挿入した複数の孔を有し、かつ放電面側が固体誘電体でコーティングされていることを特徴とする放電プラズマ処理装置。

請求項（抜粋）：

大気圧近傍の圧力下、一対の対向する板状電極間に電界を印加して、グロー放電プラズマを発生させ、電極間に設置した被処理体を処理する放電プラズマ処理装置において、少なくとも一方の板状電極が固体誘電体製パイプを挿入した複数の孔を有し、かつ放電面側が固体誘電体でコーティングされていることを特徴とする放電プラズマ処理装置。

IPC (3件)：

H05H 1/24 ,  C08J 7/00 303 ,  C23C 16/50

FI (3件)：

H05H 1/24 ,  C08J 7/00 303 ,  C23C 16/50

Fターム (12件)：

4F073BA31 ,  4F073BB01 ,  4F073CA01 ,  4F073CA21 ,  4F073CA24 ,  4F073CA26 ,  4K030CA07 ,  4K030FA03 ,  4K030GA02 ,  4K030KA17 ,  4K030KA46 ,  4K030KA47