特許
J-GLOBAL ID：200903088026638321
気体レーザ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
根本 進
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-108829
公開番号（公開出願番号）：特開平5-283768
出願日： 1992年03月31日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：
【要約】【構成】 トラップ部3と冷却源4との間に介在する真空空間10と、この真空空間10の真空度を制御する手段とが設けられる。冷却源4を昇温することなくトラップ部3を温度制御し、トラップ部3内でレーザガスに含まれる不純物ガスを液化して除去する。【効果】 冷却源用冷媒の消費量を低減でき、トラップ部の再生時間を短縮でき、作業労力を低減できる。
請求項（抜粋）：
レーザガスが導入されるトラップ部と、このトラップ部を冷却する冷却源とを備え、そのトラップ部内でレーザガスに含まれる不純物ガスを液化することで除去するレーザガス純化装置を備えた気体レーザ装置において、前記トラップ部と冷却源との間に介在する真空空間と、この真空空間の真空度を制御する手段とが設けられていることを特徴とする気体レーザ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01S 3/03 Z
, H01S 3/04 G
