特許
J-GLOBAL ID：200903088030707230
銅または銅合金のエッチング用組成物およびそのエッチング方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西教 圭一郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-211575
公開番号（公開出願番号）：特開平6-057453
出願日： 1992年08月07日
公開日（公表日）： 1994年03月01日
要約：
【要約】【目的】 銅または銅合金のエッチングを行う際のサイドエッチを抑制し、微細パターン化に対応する。【構成】 塩化第2銅水溶液、塩酸、2-アミノベンゾチアゾール系化合物およびポリエチレングリコールの混合物を銅または銅合金のエッチング用組成物として用いる。あるいは上記成分にポリアミン化合物を混合する。
請求項（抜粋）：
下記成分a,b,cおよびdを含むことを特徴とする銅または銅合金のエッチング用組成物。a)塩化第2銅b)塩酸c)下記化学式(I)で示される2-アミノベンゾチアゾール系化合物【化1】ただし、X:H,NO2 ,CH3O,Cld)下記化学式(II)で示されるポリエチレングリコール【化2】HO(CH2CH2O)n H (II)ただし、n=1〜130
引用特許：
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