特許
J-GLOBAL ID:200903088032944876
ロードロックチャンバ及びそれを用いた露光装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
伊東 哲也
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-174229
公開番号(公開出願番号):特開2002-075856
出願日: 2001年06月08日
公開日(公表日): 2002年03月15日
要約:
【要約】【課題】 フッ素エキシマレーザなどの紫外光を光源とする投影露光装置において、装置内へ基板を搬入・搬出するためのロードロックチャンバを小型化できるとともに、連続化を可能とする。【解決手段】 露光装置にレチクル及び/またはウエハを搬入・搬出するロードロックチャンバであって、一枚または複数枚のレチクルまたはウエハを載置する切り込み平面を有するレチクルまたはウエハ搭載台と、前記搭載台を昇降させる昇降軸及び昇降駆動部と、前記搭載台の側壁と微小な隙間を有するはめ合い穴と、前記はめ合い穴内に前記搭載台を移動させて、前記レチクルまたはウエハを載置した搭載台を収納・排出するロードロックチャンバ本体とを備える。
請求項(抜粋):
露光装置にレチクル及び/またはウエハを搬入・搬出するロードロックチャンバであって、一枚または複数枚のレチクルまたはウエハを載置する切り込み平面を有するレチクルまたはウエハ搭載台と、前記搭載台を昇降させる昇降軸及び昇降駆動部と、前記搭載台の側壁と微小な隙間を有するはめ合い穴と、前記はめ合い穴内に前記搭載台を移動させて、前記レチクルまたはウエハを載置した搭載台を収納・排出するロードロックチャンバ本体とを備えたことを特徴とするロードロックチャンバ。
IPC (5件):
H01L 21/027
, B65G 49/00
, G03F 7/20 502
, G03F 7/20 521
, H01L 21/68
FI (7件):
B65G 49/00 A
, G03F 7/20 502
, G03F 7/20 521
, H01L 21/68 A
, H01L 21/30 503 E
, H01L 21/30 514 D
, H01L 21/30 516 F
Fターム (21件):
2H097AA03
, 2H097BA10
, 2H097CA13
, 2H097DA20
, 2H097DB20
, 2H097DC10
, 2H097GB01
, 2H097LA10
, 5F031CA02
, 5F031CA07
, 5F031LA02
, 5F031MA11
, 5F031MA27
, 5F031NA04
, 5F031PA03
, 5F031PA04
, 5F046AA22
, 5F046CC01
, 5F046CC02
, 5F046CC18
, 5F046CD04
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