高純度ガス用の精密フィルター及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：苗村正 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-217663
公開番号（公開出願番号）：特開平9-057030
出願日： 1995年08月25日
公開日（公表日）： 1997年03月04日
要約：

【要約】【課題】不可避異物を排除でき高純度のガスを得るフィルタとその製造方法。【解決手段】平均粒径10μm以下の金属微細粒子、金属短繊維、又は繊維径10μm以下の金属繊維のうち少なくとも1種類以上を用いて焼結される焼結多孔体2を形成するとともに、該焼結多孔体は、空孔内壁表面及び該内壁表面に付着する不可避異物を含めて、液溶性無機質の薄膜材3によって被覆されることにより、1μm以下の空孔径と40%以上の空孔率とを備えてなる高純度ガス用の精密フィルター。及び溶融粘度10cps以下の無機質懸濁状の薄膜液3Aの中に前記焼結多孔体2を浸漬し、かつ減圧により焼結多孔体の空孔内に薄膜液を吸引し、被着して然る後に乾燥する方法である。

請求項（抜粋）：

ガス中に混在する0.1μm以下の不純物粒子を吸着し捕獲しうる高純度のガスを得る高純度ガス用の精密フィルターであって、平均粒径10μm以下の金属微細粒子、金属短繊維、又は繊維径10μm以下の金属繊維のうち少なくとも1種類以上を用いて焼結される焼結多孔体を形成するとともに、該焼結多孔体は、空孔内壁表面及び該内壁表面に付着する不可避異物を含めて、液溶性無機質の薄膜材によって被覆されることにより、1μm以下の空孔径と40%以上の空孔率とを備えてなる高純度ガス用の精密フィルター。

IPC (3件)：

B01D 39/20 , B22F 3/11 , C22C 1/08

FI (3件)：

B01D 39/20 A , C22C 1/08 F , B22F 5/00 101 C

引用特許：

審査官引用 (1件)

特開平1-262902

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