特許
J-GLOBAL ID：200903088036934930
光学測長装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉井 剛 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-200865
公開番号（公開出願番号）：特開2001-027515
出願日： 1999年07月14日
公開日（公表日）： 2001年01月30日
要約：
【要約】【課題】 1μ以下の高い精度で測定を可能とする光学測長装置を提供すること。【解決手段】 被測定部材(ワーク)10を介して投影光学系TOと観察光学系Aとを同一の光軸Z1-Z2(光軸)上に対向配置し、ワーク10壁面に所定の投影像4を投影して光軸とワーク10の壁面を相対移動し、その移動量S'より壁面間距離Dの測定値Sを求め表示するX表部14を設け、投影光学系TOの第1ピント位置P1と観察光学系KAの第2ピント位置P2とをピント位置不一致として前記光学系を配置構成し、またX表示部14に関連して前記光学系の3次元誤差に応じた3次元曲面補正値23と前記測定値Sとを補正演算し測定結果を出力する3次元補正部20を設け、前記出力により測定結果をX表示部14で表示するように構成することにより高い精度で円面壁面の内径を測定できる光学測長装置。
請求項（抜粋）：
被測定部材(ワーク)を介して投影光学系と観察光学系とを同一の光軸上に対向配置し、更に投影光学系の第1ピント位置と観察光学系の第2ピント位置とが一致する近傍の所定の配置に前記光学系を設け、投影光学系よりワーク壁面に所定の投影像を投影し前記壁面で反射した投影像の反射像を観察光学系で観察し、ワークと前記光軸とを相対移動し、前記移動量より前記壁面間距離の測定値を求め表示するX表示部を設け、更に前記光学系の小さなNa(レンズの中央近傍を通る)の光路により発生する反射像偏りによる3次元誤差に応じた3次元補正値を設け、前記測定値と前記3次元補正値とを補正演算する3次元補正部を前記測定値を表示するX表示部に関連して構成し、壁面間の距離を精度良く測定することを特徴とする光学測長装置。
IPC (3件)：
G01B 11/14
, G01B 11/08
, G01B 11/12
G01B 11/14 Z
, G01B 11/08 Z
, G01B 11/12 Z
2F065AA22
, 2F065AA26
, 2F065AA27
, 2F065EE00
, 2F065FF01
, 2F065FF04
, 2F065FF61
, 2F065FF67
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL26
, 2F065PP12
, 2F065QQ17
, 2F065QQ25
, 2F065QQ27
, 2F065SS03
, 2F065SS11
