特許
J-GLOBAL ID：200903088038435019
流量検出装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田澤 博昭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-162390
公開番号（公開出願番号）：特開平8-029224
出願日： 1994年07月14日
公開日（公表日）： 1996年02月02日
要約：
【要約】【目的】 同一の半導体基板上に形成された温度検出素子および複数個の発熱素子の平均温度の差が略一定なるようにし、空気の流速検出範囲の拡大を図って、平均化した流量信号を出力可能にする。【構成】 半導体基板10上に熱絶縁部を介して導電材料層11からなる架橋構造の発熱素子40a〜40dおよび温度検出素子41a〜41dを備え、少なくとも上記発熱素子40a〜40dを、上記半導体基板10上に一定間隔を離して複数個並設する。
請求項（抜粋）：
半導体基板上に熱絶縁部を介して導電材料層からなる架橋構造の発熱素子および温度検出素子を備えた流量制御装置において、少なくとも上記発熱素子が、上記半導体基板上に一定間隔を離して複数個並設されていることを特徴とする流量検出装置。
IPC (2件)：
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