特許
J-GLOBAL ID：200903088043183605
光学式変位センサー
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-195130
公開番号（公開出願番号）：特開平7-027543
出願日： 1993年07月12日
公開日（公表日）： 1995年01月27日
要約：
【要約】【目的】 部品点数の増加、コストアップを引き起こすことなく、高精度の基準位置信号を得ること。【構成】 移動物体に連結したスケール10表面の回折格子10Aに光束を入射させ、この回折光のうち特定次数の回折光を利用した前記移動物体の移動状態を測定する光学式変位センサーにおいて、前記回折格子10Aに入射した光束の1部が前記スケールの裏面側に設けた反射領域で複数回反射して、前記スケール表面の回折格子10Aが形成された領域以外に形成された透光性もしくは、遮光性を与えられた基準位置の領域から出射される光量の変化を受光素子2Dにより受光し、この受光素子2Dからの出力信号を前記移動物体に関する基準信号とすること。
請求項（抜粋）：
移動物体に連結したスケール表面の回折格子に光束を入射させ、この回折光のうち特定次数の回折光を利用した前記移動物体の移動状態を測定する光学式変位センサーにおいて、前記回折格子に入射した光束の1部が前記スケールの裏面側に設けた反射領域で複数回反射して、前記スケール表面の回折格子が形成された領域以外に形成された透光性もしくは、遮光性を与えられた基準位置の領域から出射される光量の変化を受光素子により受光し、この受光素子からの出力信号を前記移動物体に関する基準信号とすることを特徴とする光学式変位センサー。
IPC (3件)：
G01B 11/26
, G01D 5/30
, G01D 5/38
