特許

J-GLOBAL ID：200903088044014998

光学素子の製造方法及びその装置並びにプロジェクタ

発明者： 大野 元治
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-287111
公開番号（公開出願番号）：特開2001-105435
出願日： 1999年10月07日
公開日（公表日）： 2001年04月17日
要約：

【要約】【課題】複数の微細な三角形状の断面を有する三角柱を井桁状に形成した光学素子を高精度に製造すること。【解決手段】金型31と基板32との各対向面に撥水性の離型膜33、34を形成し、ポッティングノズル35の先端を、基板32側から金型31と基板32との密着面よりも金型31側に挿入して光硬化樹脂36を注入するとともに金型31と基板32との間に存在するエアーを、各エアー抜き孔38〜41から抜き、2P法により液晶ディスプレイに用いるμカライド素子を製造する。

請求項（抜粋）：

複数の溝を縦横方向に交叉させて形成した金型と紫外線領域の光を透過する基板とを密着させ、これら金型と基板との間に光硬化樹脂を注入し、この光硬化樹脂にUV光を照射し硬化させることによって前記金型形状を転写する光学素子の製造方法において、前記金型と前記基板との各対向面に撥水性の離型膜を形成する工程と、ノズルの先端を、前記基板側から前記金型と前記基板との密着面よりも前記金型側に挿入して、前記ノズルから前記光硬化樹脂を前記金型と前記基板との間に注入する工程と、前記ノズルから前記光硬化樹脂を前記金型と前記基板との間に注入するとともに前記金型と前記基板との間に存在するエアーを、前記金型と前記基板との外周部から抜く工程と、を有することを特徴とする光学素子の製造方法。

IPC (10件)：

B29C 33/10 ,  B29C 33/44 ,  B29C 39/02 ,  B29C 39/22 ,  G02B 3/00 ,  G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/1335 ,  G02F 1/1343 ,  G03B 33/12 ,  B29L 11:00

FI (10件)：

B29C 33/10 ,  B29C 33/44 ,  B29C 39/02 ,  B29C 39/22 ,  G02B 3/00 A ,  G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/1335 ,  G02F 1/1343 ,  G03B 33/12 ,  B29L 11:00

Fターム (39件)：

2H090LA12 ,  2H090LA16 ,  2H091FA29Z ,  2H091FA31Z ,  2H091FA41Z ,  2H091FA45Z ,  2H091FB04 ,  2H091FC19 ,  2H091FC29 ,  2H091FD06 ,  2H091LA18 ,  2H091MA07 ,  2H092NA25 ,  2H092PA13 ,  2H092RA05 ,  4F202AA44 ,  4F202AH73 ,  4F202AJ09 ,  4F202AJ11 ,  4F202CA01 ,  4F202CB01 ,  4F202CK11 ,  4F202CM72 ,  4F202CM82 ,  4F202CP01 ,  4F202CP06 ,  4F204AA44 ,  4F204AH73 ,  4F204AJ09 ,  4F204AJ11 ,  4F204EA03 ,  4F204EA04 ,  4F204EB01 ,  4F204EK09 ,  4F204EK17 ,  4F204EK18 ,  4F204EK20 ,  4F204EK24 ,  4F204EK25