特許
J-GLOBAL ID：200903088044104490
液晶画像表示装置における点欠陥救済方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-243975
公開番号（公開出願番号）：特開平8-110527
出願日： 1994年10月07日
公開日（公表日）： 1996年04月30日
要約：
【要約】【目的】 スイッチング素子として薄膜トランジスタを使用した液晶画像表示装置において、デバイス構成上、回避が困難であるソース電極-ドレイン電極間の短絡不良起因の点欠陥を救済し、信頼性の高い画像を得る。【構成】 信号線11とソース電極13を分離するために領域19を形成し、この領域19にレーザ光を照射することによって分離する。またドレイン電極14(またはソース電極13)とゲート電極15の短絡方法としては、ガラス基板側からレーザを照射するレーザウェルディング加工を用いる。ドレイン電極14(またはソース電極13)とゲート電極15を同一種の金属で形成することによって、安定かつ低抵抗での接続が可能となる。用いる金属としてはアルミニウムが最適であるが、アルミニウムを含む2種以上の金属多層膜でも実施可能である。
請求項（抜粋）：
スイッチング素子として薄膜トランジスタを使用した液晶画像表示装置において、ガラス基板上に形成された前記薄膜トランジスタにおけるソース電極とドレイン電極を短絡せしめる不正規な形状部分を信号線から分離し、かつ前記ドレイン電極(またはソース電極)とゲート電極を短絡することを特徴とする点欠陥救済方法。
IPC (3件)：
G02F 1/136 500
, G02F 1/1343
, H01L 29/786
