特許

J-GLOBAL ID：200903088045628329

強誘電体薄膜形成用塗布液および強誘電体薄膜

発明者： 篠田 智隆 ,  池田 憲彦 ,  小松 敏 ,  山田 欣司
出願人/特許権者： ジェイエスアール株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-323932
公開番号（公開出願番号）：特開2003-128419
出願日： 2001年10月22日
公開日（公表日）： 2003年05月08日
要約：

【要約】【課題】 650°C以下の低温で結晶化が促進する強誘電体薄膜を形成することができ、良好なヒステリシス特性および飽和特性を有する強誘電体薄膜を得ることができる実用的な強誘電体薄膜形成用塗布液を得る。【解決手段】 (A)ヘテロポリ酸と、(B) Ta、Bi、Sr、Nb、Pb、ZrおよびTiから選ばれる少なくとも1つを構成元素として有する有機金属化合物とを含有することを特徴とする強誘電体薄膜形成用塗布液。

請求項（抜粋）：

(A)ヘテロポリ酸と、(B) Ta、Bi、Sr、Nb、Pb、ZrおよびTiから選ばれる少なくとも1つを構成元素として有する有機金属化合物とを含有することを特徴とする強誘電体薄膜形成用塗布液。

IPC (4件)：

C01G 35/00 ,  C01G 1/00 ,  H01L 21/316 ,  H01L 27/105

FI (5件)：

C01G 35/00 B ,  C01G 35/00 C ,  C01G 1/00 B ,  H01L 21/316 G ,  H01L 27/10 444 C

Fターム (18件)：

4G048AA05 ,  4G048AB02 ,  4G048AB05 ,  4G048AC02 ,  4G048AD02 ,  4G048AE05 ,  4G048AE08 ,  5F058BA11 ,  5F058BC03 ,  5F058BF46 ,  5F058BH01 ,  5F083FR01 ,  5F083GA06 ,  5F083GA29 ,  5F083JA17 ,  5F083JA38 ,  5F083PR23 ,  5F083PR33