特許
J-GLOBAL ID：200903088046144180
変位測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊丹 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-285247
公開番号（公開出願番号）：特開2000-111360
出願日： 1998年10月07日
公開日（公表日）： 2000年04月18日
要約：
【要約】【課題】 確実なギャップ調整が可能であり、且つ電気的及び機械的特性に優れた摺動保護膜を持つ変位測定装置を提供する。【解決手段】 スケール部材1とセンサヘッド2を摺動させて相対移動させる静電容量式エンコーダが構成される。スケール部材1の転送電極12が形成された面、及びセンサヘッド2の送受信電極22が形成された面は、それぞれ摺動保護膜13,23により覆われる。摺動保護膜13,23は、塗布型絶縁膜と、プラズマCVDによるDLC膜の積層膜により形成される。
請求項（抜粋）：
スケール部材と、このスケール部材に対向して相対移動可能に配置されたセンサヘッドとを有する変位測定装置において、前記スケール部材とセンサヘッドの相対向する面の少なくとも一方に、平坦に形成された絶縁膜と、この絶縁膜の上に積層形成されたダイヤモンドライクカーボン膜とを有する摺動保護膜が形成されていることを特徴とする変位測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01D 5/24 A
, G01B 7/00 K
2F063AA02
, 2F063CA30
, 2F063EA02
, 2F063HA05
, 2F063HA10
, 2F063HA18
, 2F077AA42
, 2F077AA46
, 2F077NN05
, 2F077PP01
, 2F077VV09
, 2F077VV11
, 2F077VV29
, 2F077VV33
, 2F077VV35
