特許
J-GLOBAL ID:200903088049723202
搬送装置
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
小沢 信助
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-276694
公開番号(公開出願番号):特開平5-090386
出願日: 1991年09月27日
公開日(公表日): 1993年04月09日
要約:
【要約】【目的】 搬送物に与える振動と衝撃が小さく、搬送物の重さが増してもモ-タに脱調を起こしにくい搬送装置を実現することを目的とする。【構成】 物体を拾い上げ、目標位置まで運んで位置決めする搬送装置において、カム曲線に基づいてフィ-ドバック制御されるモ-タの動力で駆動軸に回転運動と直進運動を行なわせる。そして、この駆動軸に第1のリニアモ-タの固定子を固定する。さらに、第1のリニアモ-タの移動子を第2のリニアモ-タの移動子と連結し、移動自在になった第2のリニアモ-タの固定子の運動により搬送動作を行なう。
請求項(抜粋):
物体を拾い上げ、目標位置まで運んで位置決めする搬送装置において、ダイレクト・ドライブ・モ-タを駆動して駆動軸に回転運動と直進運動を行なわせる軸駆動部と、記憶部に格納されたカム曲線テ-ブルのテ-ブル値をもとに指令値を算出し、算出した指令値に基づいて前記ダイレクト・ドライブ・モ-タをフィ-ドバック制御するモ-タ制御部と、固定子が前記駆動軸に固定された第1のリニアモ-タと、移動子は前記第1のリニアモ-タの移動子と連結され、固定子は移動自在になっている第2のリニアモ-タと、前記第1及び第2のリニアモ-タを制御するリニアモ-タ制御部と、を具備し、前記第2のリニアモ-タの固定子の動きにより搬送動作を行なうことを特徴とする搬送装置。
IPC (3件):
H01L 21/68
, B25J 19/00
, B25J 9/10
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