特許
J-GLOBAL ID：200903088058889288
自動焦点走査式光学装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西脇 民雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-101384
公開番号（公開出願番号）：特開平5-173087
出願日： 1992年04月21日
公開日（公表日）： 1993年07月13日
要約：
【要約】【目的】 光学系のFナンバーを小さくした場合にも、描画面のうねりや傾き等により焦点深度から外れないように補正することができる自動合焦走査式光学装置を提供することを目的とする。【構成】 描画用の光束を発するガスレーザー10と、ガスレーザー10からの光束を偏向、走査させるポリゴンミラー20と、ポリゴンミラー20により偏向される光束を描画面30上に結像させる描画面側にテレセントリックな走査レンズ40と、描画面30からの反射光を走査レンズ40を介して受光し、描画面30に対する走査レンズ40の合焦状態を検出する焦点検出手段50と、焦点検出手段50の出力に基づいて描画面30に対して走査レンズ40を合焦させる焦点調節手段60とを備えることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
描画用の光束を発する描画用光源と、前記描画用光源からの光束を偏向、走査させる偏向器と、前記偏向器により偏向される光束を描画面上に結像させる走査レンズと、前記描画面からの反射光を前記走査レンズを介して受光し、前記描画面に対する走査レンズの合焦状態を検出する焦点検出手段と、前記焦点検出手段の出力に基づいて前記描画面に対して走査レンズを合焦させる焦点調節手段とを備えることを特徴とする自動焦点走査式光学装置。
IPC (3件)：
G02B 26/10 102
, G02B 26/10
, G02B 7/28
