特許

J-GLOBAL ID：200903088065444399

基板処理装置

発明者： 新居 健一郎 ,  倉崎 浩二 ,  長谷川 公二
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 本田 ▲龍▼雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-300860
公開番号（公開出願番号）：特開2000-133628
出願日： 1998年10月22日
公開日（公表日）： 2000年05月12日
要約：

【要約】【課題】 基板処理装置に備えられた排液切替バルブに対し、その各排出流路を開閉する弁体の動作確認を容易に行うことができ、誤配管やバルブの動作不具合を容易に発見する。【解決手段】 基板処理槽よりオーバーフローした処理液等を排出する処理液排出部4を有する基板処理装置であり、前記処理液排出部4は導入流路26と、この導入流路26に連結された複数の排出流路27A,27B,27Cと、各排出流路ごとに設けられ、該排出流路を開閉する弁体37と、各弁体37ごとに設けられ、該弁体を開閉動作させる空圧シリンダ部24A,24B,24Cとを有する排液切替バルブ16を備える。前記排液切替バルブ16には各排出流路ごとに該排出流路を開閉する前記弁体37の開閉動作を外部から確認する指示部材42及び又は処理液視認孔29A,29B,29Cが設けられる。

請求項（抜粋）：

処理液によって基板の表面処理を行う基板処理部と、前記基板処理部に複数種の処理液を供給する処理液供給部と、前記基板処理部より処理液を排出する処理液排出部とを有する基板処理装置であって、前記処理液排出部は導入流路と、この導入流路に連結された複数の排出流路と、各排出流路ごとに設けられ、該排出流路を開閉する弁体と、各弁体ごとに設けられ、該弁体を開閉動作させる空圧シリンダ部とを有する排液切替バルブを備え、前記排液切替バルブは各排出流路ごとに該排出流路を開閉する前記弁体の開閉動作を外部から確認する弁体動作確認手段が設けられた基板処理装置。