特許
J-GLOBAL ID：200903088068594502

薄膜の機械的特性測定装置

発明者：
木村 正人

木村 正人 について


出願人/特許権者：
日本電気株式会社

日本電気株式会社 について


代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-123999
公開番号（公開出願番号）：特開平6-331534
出願日： 1993年05月26日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：
【要約】【目的】 薄膜の密着力・付着力を測定する場合に、AE信号のノイズとなる周囲の装置の電磁波による影響を除去する。【構成】 測定装置の中の測定部全体1〜8を導電性のある磁性体、たとえば鉄やフェライトのカバー7で覆うことにより、薄膜の破壊に伴うAE信号を検出する圧子4に、周囲のパーソナルコンピュータ10やCRTディスプレイ11の電磁波や隣接装置の電磁波がノイズとして影響することを防ぐことができる。
請求項（抜粋）：
基板上に薄膜が形成されている試験片を用い、前記試験片の下部に位置し前記試験片を傾斜させる傾斜機構を備えた荷重変換器と、前記試験片の上方に位置し前記試験片に押し込み変形を与えると同時に前記試験片内部に発生するクラックの伝播状態を検知する検知器とを兼ねた圧子と、前記圧子を垂直方向に駆動する駆動器と、前記圧子の押し込み量を測定する変位計と、前記試験片、前記傾斜機構、前記荷重変換器、前記圧子、前記駆動器及び前記変位計の全てを覆う導電性の有る磁性体でできたカバーとを有することを特徴とする薄膜の機械的特性測定装置。
IPC (3件)：
G01N 19/04 ,  G01N 3/40 ,  G01N 29/14
引用特許：
審査官引用 (3件)

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