特許
J-GLOBAL ID：200903088079646369
電子部品ウエハの静電把握装置
フェレール ダヴィッド
フェレール ダヴィッド について
出願人/特許権者：
セムコ エンジニアリング エス.アー.
セムコ エンジニアリング エス.アー. について
代理人 (1件)： 西 良久
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-550394
公開番号（公開出願番号）：特表2004-516660
出願日： 2001年12月12日
公開日（公表日）： 2004年06月03日
要約：
【課題】ウエハを破損させたり変形させたりすることなく、またウエハが支承する電子部品を変質させる危険性なくウエハを取り扱うことが可能な、特に電子部品あるいは同様の部品の支持ウエハの把握装置を提供する。【解決手段】この装置は、電子部品または同様の部品のウエハを変形させることなく搬送するシステムである。本装置により、ウエハの能動面または受動面のいずれかの面による搬送も可能である。この装置は、剛性を有し、平坦で、薄く、温度が制御可能な担体と、二つの絶縁材料のシート間に閉じ込められた(N+1)個の素子で構成される少なくとも一つの電極(8)を備える。担体(4)は、凹凸がないウエハ(2)の把握表面を提供し、ウエハ(2)の積極的保持のための静電手段により、担体(4)の対応する面全体に分散した、ウエハ(2)の把握のための出力が誘導される。U字形に成形された担体は、遠隔電源(20)(可変、交流または直流、単極または多極)との電極(8)の電気的結合部により支承される。装置の把握表面は平坦で凹凸がないが、ウエハの表面は必ずしもそうではない。本システムは、使用する担体の幾何学的形状の如何に関わらず動作する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
電子部品またはそれに類する部品のウエハ(2)の把握装置で、該把握装置のほぼ平坦な面にこのウエハを押圧した状態に保持する手段を具備する電子部品ウエハの静電把握装置であって、
ウエハ(2)の静電把握装置として、把握装置を構成する、堅牢で平坦かつ薄くて恒温制御されている担体(4)と、ウエハ(2)の保持手段を構成する少なくとも一つの電極(8)とを備え、
担体(4)が凹凸のないウエハ(2)の把握表面を提供し、ウエハ(2)の積極的保持手段(8)が、担体(4)の全体に分散したこのウエハ(2)の把握出力を誘導することを特徴とする電子部品ウエハの静電把握装置。
IPC (4件)：
FI (4件)：
Fターム (12件)：
3C007AS24
, 3C007DS01
, 3C007FS10
, 3C007FT10
, 3C007NS13
, 5F031CA02
, 5F031FA01
, 5F031FA07
, 5F031GA09
, 5F031GA32
, 5F031GA33
, 5F031PA20
引用特許：
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