特許

J-GLOBAL ID：200903088086058715

一方向導電カプラ層を有する静電チャック

発明者： アーノルド コロデンコ ,  アレキサンダー エム. ヴェイツァー ,  シャモウイル シャモウイリアン
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-084213
公開番号（公開出願番号）：特開平10-313048
出願日： 1998年03月30日
公開日（公表日）： 1998年11月24日
要約：

【要約】【課題】 安全で高い導通電気接続を与える一方、周囲のチャック構造体への電荷の漏出が低い静電チャック。【解決手段】 本発明のチャックは静電部材を備え、この静電部材は、(i)電極と、(ii)電気絶縁保持面と、(iii)電極に電気量を導くための電気接触面と、を有している。電圧供給ターミナルから接触面へのほぼ一方向にだけ電荷を導通させて電極に電気量を与えるよう、一方向導通カプラ層を接触面に接着する。

請求項（抜粋）：

プロセスチャンバ内で基板を保持するための静電チャックであって、前記静電チャックに電荷を与えるための電圧供給ターミナルを有し、前記静電チャックは、絶縁保持面に覆われた電極と、前記電極への電気量を導通させるための電気接触面とを有し、前記電気接触面に一方向導電カプラが電気的に結合し、前記電圧供給ターミナルから前記電気接触面へのほぼ一方向にだけ電荷を導通させて、前記電極へ電気量を導通させる静電チャック。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H02N 13/00

FI (3件)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  H02N 13/00 D

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 多電極静電チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-180180   出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
• 特開平4-163878