特許

J-GLOBAL ID：200903088099049219

硬質部材およびその製造方法

発明者： 中山 明 ,  福井 治世 ,  山田 亨
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 深見 久郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-328624
公開番号（公開出願番号）：特開平9-165282
出願日： 1995年12月18日
公開日（公表日）： 1997年06月24日
要約：

【要約】【課題】 硬質基材の表面に硬質炭素被膜が形成された硬質部材であって、硬質基材から硬質炭素被膜が剥離しにくく、かつ製造コストの低い硬質部材をおよびその製造方法を提供する。【解決手段】 本発明の硬質部材の製造方法は、硬質基材23の表面に炭素および窒素からなる群より選ばれた少なくとも1種のイオンを注入することにより、硬質基材23の表面部分に改質層27を形成する工程と、改質層27に接するように硬質炭素被膜22を形成する工程とを備えている。また、イオン注入エネルギは500eV以上100keV以下であれば好ましい。また、イオン注入量は、5×1016イオン/cm2 以上であれば好ましい。

請求項（抜粋）：

硬質基材の表面に硬質炭素被膜が形成された硬質部材であって、前記硬質炭素被膜と接合する前記硬質基材の表面部分には、改質層が形成されており、その改質層には、炭素および窒素からなる群より選ばれた少なくとも1種が非晶質化した非晶質部分が存在し、かつ前記硬質基材の主成分が結晶化した結晶質部分と前記非晶質部分とが混在していることを特徴とする、硬質部材。

IPC (7件)：

C04B 41/87 ,  C23C 14/48 ,  C23C 16/02 ,  C23C 16/26 ,  C23C 16/50 ,  C23C 30/00 ,  C23F 4/00

FI (7件)：

C04B 41/87 F ,  C23C 14/48 Z ,  C23C 16/02 ,  C23C 16/26 ,  C23C 16/50 ,  C23C 30/00 C ,  C23F 4/00 C

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ダイヤモンドライクカーボン薄膜を有する物品およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-087857   出願人：ティーディーケイ株式会社
• 特開平3-140459
  
• ガラス成形用型およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-254102   出願人：ホーヤ株式会社, ナノテック株式会社