特許

J-GLOBAL ID：200903088101821110

薬液供給システム

発明者： 濱 田 祐 己 ,  藤 森 啓 一
出願人/特許権者： 株式会社藤森技術研究所 ,  株式会社エヌシーエス
代理人 (1件)： 笹島 富二雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-128893
公開番号（公開出願番号）：特開2003-320280
出願日： 2002年04月30日
公開日（公表日）： 2003年11月11日
要約：

【要約】【課題】 薬液タンクからの薬液を負圧吸引して噴射するノズルを利用して薬液供給の微少流量制御を可能とする。【解決手段】 内部に薬液を収容して密閉可能とされた薬液タンク10と、この薬液タンク10に薬液供給パイプ7で接続され外部からの高圧気体の送気により内部に発生する負圧を利用して上記薬液タンク10からの薬液を負圧吸引して該薬液を噴射するノズル11と、上記薬液供給パイプ7に対しノズル11が接続された部位の近傍から分岐されて上記薬液タンク10の上面に接続されその内部空間Sの空気を吸引して負圧を発生させる空気吸引手段12と、上記薬液タンク10内に形成される負圧空間Sに対し任意圧力の正圧ガスを供給する正圧供給手段13とを備え、上記正圧供給手段13により薬液タンク10に供給する正圧ガスの圧力を調整することによって上記ノズル11への薬液の供給流量を制御するものである。

請求項（抜粋）：

内部に薬液を収容して密閉可能とされた薬液タンクと、この薬液タンクに薬液供給パイプで接続され外部からの高圧気体の送気により内部に発生する負圧を利用して上記薬液タンクからの薬液を負圧吸引して該薬液を噴射するノズルと、上記薬液供給パイプに対しノズルが接続された部位の近傍から分岐されて上記薬液タンクの上面に接続されその内部空間の空気を吸引して負圧を発生させる空気吸引手段と、上記薬液タンク内に形成される負圧空間に対し任意圧力の正圧ガスを供給する正圧供給手段とを備え、上記正圧供給手段により薬液タンクに供給する正圧ガスの圧力を調整することによって上記ノズルへの薬液の供給流量を制御することを特徴とする薬液供給システム。

IPC (3件)：

B05B 7/30 ,  B01J 4/00 103 ,  B05C 11/10

FI (3件)：

B05B 7/30 ,  B01J 4/00 103 ,  B05C 11/10

Fターム (23件)：

4F033AA01 ,  4F033BA03 ,  4F033CA01 ,  4F033DA01 ,  4F033EA01 ,  4F033NA01 ,  4F033RA02 ,  4F042AA01 ,  4F042AB00 ,  4F042BA11 ,  4F042CA01 ,  4F042CA09 ,  4F042CB03 ,  4F042CB08 ,  4F042CB24 ,  4G068AA03 ,  4G068AB15 ,  4G068AC05 ,  4G068AC16 ,  4G068AD36 ,  4G068AD39 ,  4G068AF06 ,  4G068AF40

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平4-265169
  
• 薬液供給システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-334421   出願人：株式会社藤森技術研究所, 株式会社エヌシーエス