特許
J-GLOBAL ID：200903088109990167
液体循環処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-253029
公開番号（公開出願番号）：特開平7-106294
出願日： 1993年10月08日
公開日（公表日）： 1995年04月21日
要約：
【要約】【目的】 液体循環処理装置において、液体に混入する微小な気泡まで除去することが可能な技術を提供すること。【構成】 フィルタと処理槽の間に、エア抜きバルブと供給ノズルと吐出口を有する密封された容器からなる気泡除去槽を繋げ、前記エア抜きバルブは、気泡除去槽の天井部分に設け、前記吐出口は、気泡除去槽の底部分に設け、前記供給ノズルは、循環する液体が気泡除去槽の上部方向に噴き上がるような形状にし、その供給ノズルの噴き出し口は、吐出口から所定の距離を隔てた所に設ける。
請求項（抜粋）：
液体を循環させて電子部品をメッキ、洗浄等を行う処理槽と循環ポンプとフィルタとを配管で繋いだ液体循環処理装置において、前記フィルタと処理槽の間に、エア抜きバルブと供給ノズルと吐出口を有する密封された容器からなる気泡除去槽を配管で繋げ、前記エア抜きバルブは、気泡除去槽の天井部分に設けられ、前記吐出口は、気泡除去槽の底部分に設けられ、前記供給ノズルは、循環する液体が気泡除去槽の上部方向に噴き上がるような形状に構成され、その供給ノズルの噴き出し口は、吐出口から所定の距離を隔てた所に設けられたことを特徴とする液体循環処理装置。
IPC (5件)：
H01L 21/304 341
, B01D 19/00
, C23C 18/31
, C23F 1/08 101
, C23G 3/00
